中微公司获得实用新型专利授权：“一种升降驱动组件和半导体工艺设备”
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2026年03月20日
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种升降驱动组件和半导体工艺设备”，专利申请号为CN202520618963.1，授权日为2026年3月20日。
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专利摘要：本实用新型公开了一种升降驱动组件和半导体工艺设备。升降驱动组件包括固定筒、活动筒、活动架和驱动机构。固定筒连接于反应腔的底部，固定筒上设有贯穿筒壁的第一导向槽；活动筒套接于固定筒，活动筒上设有贯穿筒壁的第二导向槽；活动架用于与下电极连接，活动架上设有驱动轴，驱动轴穿过第一导向槽并嵌入第二导向槽中；驱动机构用于驱动活动筒相对固定筒枢转；通过第二导向槽和第一导向槽的配合将驱动机构的枢转输出转化为活动架的竖直方向移动。本实用新型的升降驱动组件和半导体工艺设备，通过驱动机构驱动活动筒旋转，通过活动筒和固定桶的配合将旋转运动转化为活动架的竖直方向运动，减少驱动机构占用的下电极下方空间。
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今年以来中微公司新获得专利授权33个，较去年同期减少了10.81%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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