华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备”

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2026年02月28日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备”，专利申请号为CN202410816237.0，授权日为2026年2月27日。

华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备”
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专利摘要：本申请实施例提供了一种用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备，其中用于晶圆抛光的承载头，包括：气膜组件、端环、保持环和基座；所述端环可拆卸地安装于所述基座与所述保持环间，所述气膜组件与所述基座连接，且所述气膜组件位于所述端环和所述保持环内，所述气膜组件与所述端环和所述保持环之间存在间隙；所述气膜组件，用于在对晶圆进行抛光时，将晶圆抵接在抛光垫上；所述端环、所述基座和所述气膜组件围成环形容纳腔，所述环形容纳腔的外环腔壁包括所述端环内壁。能够使端环承担牺牲功能，利用端环承受抛光液的腐蚀和晶圆碎屑等杂物造成的磨损，避免基座产生损伤，从而减小承载头的使用成本。

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今年以来华海清科新获得专利授权10个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

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通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目258次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息798条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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产学研合作在关键核心技术攻关上发挥重要作用 产学研合作行业市场深度分析2024_保险有温度,人保服务

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保险有温度,人保服务_产学研合作在关键核心技术攻关上发挥重要作用 产学研合作行业市场深度分析2024 2024年4月19日 来源：互联网 1453 96 产学研合作是一种涉及企业、学校和研究机构的合作形式。企业通过产学研合作解决关键技术或核心零部件攻关问题的比例最高，达56.1%，表明产学研合作在关键核心技术攻关上发挥重要作用，产学研合作创新显著。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 根据国家知识产权局近日发布的《2023年中国专利调查报告》，2023年，作为创新的主体，我国企业发明专利产业化率为51.3%，较上年提高3.2个百分点;我国企业产学研发明专利产业化平均收益达到1033.2万元/件，比企业发明专利产业化平均收益(829.6万元)高24.5%。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 此外，企业通过产学研合作解决关键技术或核心零部件攻关问题的比例最高，达56.1%，表明产学研合作在关键核心技术攻关上发挥重要作用，产学研合作创新显著。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 产学研合作是一种涉及企业、学校和研究机构的合作形式。在这种合作中，各方通过政府、科技中介服务机构、金融机构的支持，在新技术开发与应用、信息获取、人才培养、仪器设备共享等方面按照一定的规则进行合作，形成某种联盟。这种合作旨在实现优势互补和利益共享，推动社会进步和加快社会发展步伐。 根据中研普华产业研究院发布的显示： 高校和科研机构是国家战略科技力量和国家创新体系的重要组成部分。数据显示，截至2023年9月，国内高校有效发明专利拥有量达到76.7万件，科研机构有效发明专利拥有量达到22万件，合计占国内有效发明专利拥有量的25.3%，超过四分之一。2022年，全国高校科研院所向中小企业转让、许可专利达2.9万次，比2020年增长60.2%。 近年来，教育部结合高校实际，重点从“提升成果质量”和“加强政策激励”两大因素着手，加快推动高校科技成果向现实生产力转化。第一，提升成果质量，强化科技成果源头供给。近年来，教育部大力推进高校有组织科研，引导高校科技创新聚焦国家重大战略需求、产业发展需要，真正做到基础研究要真有发现，技术创新要真解决问题，成果转化要真有效果。二，加大政策激励，采取多种转化方式促进科技成果转化。 近年来，科技创新持续受到关注，一系列新发明、新技术、新产品、新装备成为产业升级、结构优化的重要驱动力量。其中，不少制造业民营企业围绕关键核心技术持续进行攻关，让中国制造迈向价值链高端。 公开数据显示，2023年，我国科技事业发展呈现新气象：全年全国研发经费投入超过3.3万亿元，比上一年增长8.1%，研发投入强度达到2.64%;全年签订技术合同95万项，成交额达到6.15万亿元，比上年增长28.6%;授权发明专利达到92.1万件，比上年增长15.3%。 产学研合作作为促进技术创新的重要手段，正受到越来越多的关注。这种合作模式整合了企业、科研院所和高等学校等各方资源，实现了知识、技术和人才的共享和优势互补。通过产学研合作，可以大大缩短技术创新的周期，提高创新效率，推动科技成果的产业化。 企业是科技创新的主体，加强以企业为主导的产学研深度融合，是激活科技创新资源，提升创新体系效能，增强产业发展接续性和竞争力的有效途径。推进产学研全链条一体化创新。支持行业龙头企业联合产业链上下游企业、省内外高校和科研院所组建体系化、任务型创新联合体，为相关产业链式发展和集群培育提供重要支撑。 未来，产学研合作行业发展前景广阔，但也需要在机制建设、政策支持、人才培养等方面持续努力。只有通过不断完善和创新，才能推动产学研合作行业更好地服务于科技创新和经济发展。 在激烈的市场竞争中，企业及投资者能否做出适时有效的市场决策是制胜的关键。报告准确把握行业未被满足的市场需求和趋势，有效规避行业投资风险，更有效率地巩固或者拓展相应的战略性目标市场，牢牢把握行业竞争的主动权。 中研普华通过对产学研合作行业长期跟踪监测，分析产学研合作行业需求、供给、经营特性、获取能力、产业链和价值链等多方面的内容，整合行业、市场、企业、用户等多层面数据和信息资源，为客户提供深度的产学研合作行业研究报告，以专业的研究方法帮助客户深入的了解产学研合作行业，发现投资价值和投资机会，规避经营风险，提高管理和运营能力。 更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的。 关注公众号 免费获取更多报告节选 免费咨询行业专家 相关深度报告REPORTS ...
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